'반도체 ALD 특허분쟁' 코쿠사이·유진테크, 특허 2건 판단 확정

핵심 요약

• 대법원, 코쿠사이 특허 2건 판단 확정…유진테크에 유리
• 961 특허 청구항 대부분 무효, 644 특허는 권리범위 축소
• 양측이 다투는 코쿠사이 특허는 아직 2건 남아

유진테크와 반도체 공정 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이의 특허 2건에 대한 판단이 확정됐다. 두 업체가 다투고 있는 코쿠사이 특허는 모두 4건이다.

대법원은 지난 8일 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, '961 특허) 관련 상고심 3건에서 모두 기각 판결했다. 이에 따라 '961 특허의 청구항 중 대부분이 무효라는 특허법원 판단이 확정됐다.

특허 2건 판단 확정

특허심판원은 지난 2024년 12월 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했고, 쟁점 청구항 중 7항만 유효로 봤다. 이후 양측이 특허법원과 대법원에 차례로 상소했지만 모두 기각됐다.

코쿠사이는 '961 특허 청구항이 무더기로 무효가 되자 정정을 노렸지만 특허심판원, 특허법원에 이어 대법원에서도 기각됐다. 대법원이 기각한 '961 특허 상고심 3건 중 2건이 무효심판 상고심, 1건이 정정심판 상고심이었다.

644 특허와 남은 분쟁

또 다른 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, '644 특허)은 권리범위가 좁혀진 상태에서 유효 판단이 확정됐다. 지난 7월 특허심판원이 유효로 판단한 뒤 양측이 항소하지 않아 지난 9월 심결이 확정됐지만, 코쿠사이가 4차례 정정해 권리범위가 좁아졌다.

아직 양측이 법정에서 다투는 코쿠사이 특허는 2건이다. '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052)은 지난 7월 특허법원에서 무효 판결이 나왔고, 코쿠사이는 지난 8월 대법원에 상고했다.

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